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針對不同尺寸的樣品做客製化設計，搭配吸真空平台，並可以匯入CAD圖檔，進行大範圍載台移動控制
同時具備2D及3D量測功能，可以滿足各種量測項目
並能夠自動化測量並串流SECS/ GEM進行全自動化傳輸通訊!
客製化設計
- 針對不同的樣品尺寸做設計。
- 左圖中XY軸量測範圍是700 mm x 700 mm
- XY軸高精密移動軸含步進馬達，內建0.1 μ光學尺
- 吸真空平台為高精密螺桿控制, 最快每秒移動500 mm
- 搭配進口主動式防震機構
- 可以匯入DXF (1:1) CAD圖檔，進行大範圍載台移動控制
- 能夠自動化測量並串流SECS/ GEM進行全自動化傳輸通訊
滿足2.5D和3D量測需求
- 搭配Sensofar 3D輪廓儀，有四合一的量測技術，可以針對樣品的粗糙度、高度、3D輪廓進行分析
- 內建2D測量工具，具有能夠測量點、線、圓、圓弧、角度等測量功能
- 並藉由軟體運算點到點距離、點到線距離、線到線的最短距離、圓心到圓心距離、兩線交叉角度
